米兰体育app下载地址:中科仪拟423亿元扩产干式真空泵

  中科仪(920186)10月20日公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建造项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，施行集成电路干式真空泵扩产项目，旨在提高干式真空泵中心零部件自主制作才能，下降外协依靠，优化产品成本结构，然后提高全体盈余水平。

  依据公告，该扩产项目拟在沈阳、南通及上海三地施行，其间，沈阳和南通首要环绕集成电路干式真空泵展开产业化扩产建造，经过新建加工中心厂房、新增及晋级出产、安装、检测测验等相关设备和设备，逐渐提高干式真空泵规模化出产才能；上海分公司首要环绕干式真空泵相关零部件加工制作环节，经过新增机械加工、检测、清洗及自动化等设备，提高中心零部件加工制作才能。

  该项意图财物金额来历为自筹资金，项目拟出资4.23亿元。其间，中科仪及上海分公司拟出资1.91亿元，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟出资2.32亿元。本次新增项目估计建造期为3年，其间第一年出资金额为3.36亿元，第二年出资金额为7670.81万元，第三年出资金额为993.67万元。

  干式真空泵是半导体多个制程中的通用真空设备，中科仪有关产品应用场景掩盖单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测验等清洁或苛刻制程。在晶圆制作范畴，以12英寸晶圆出产线台真空泵，晶圆制作新增产能、工艺设备扩大及存量设备更新可以构成较大的干式真空泵需求。

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